德國費斯托FESTO壓電閥工作原理：壓電閥是利用功能陶瓷片在電壓作用下產生彎曲變形原理制成的一種兩位式（或比例式）控制閥。控制壓電閥動作只需提供足夠的電壓，電功耗幾乎為零。 壓電閥在E/P轉換單元中起先導閥的作用，每個E/P轉換單元同時應用兩個壓電閥，對于壓電閥由于導壓（即先導腔室中的氣壓力）太小，不具有產生氣流的能力，所以必須增壓。

增壓是在伺服部分完成，它的作用猶如氣動繼電器。伺服部分在先導腔室一側有一個面積較大膜片，在輸出及排氣腔室一側有一個面積較小的面。當導壓達到120kPa時，施加在先導腔室一側膜片上的力，大于作用在輸出及排氣腔室另一側面上的力，這將迫使移動閥心與排氣閥心移動，當兩側面的力達到平衡時，這樣作用在輸出及排氣腔室一側面上的氣壓將大于導壓，從而達到增壓的目的。其動作原理：壓電閥的初始狀態（不通電），功能陶瓷片作用在噴嘴口1上，這時，口2與噴嘴口3與先導腔連通，形成為一個整體。當壓電閥接通電源時，功能陶瓷片變形向上翹，把噴嘴口3壓住，使得口2與噴嘴口1連通。

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